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北方华创三大集成电路项目收获国家专项资金

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摘要北方华创科技集团股份有限公司（北方华创）及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司（北方华创微电子）收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目经费资金9，423．00万元、

DOI n498oexqdy/1742683

作者

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2017年6期

关键词专项资金北方集成电路收获北京市项目经费

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2017年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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