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基于激光光斑圆心偏移计算的导轨直线度测量

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摘要提出了一种基于激光束光斑圆心位置偏移计算的导轨直线度测量方法,能够实现对导轨直线度的测量.从激光干涉仪发射出一束激光,打到安装在导轨移动靶标上的平面反射镜,激光束反射回来最终被CCD相机接收,获得光斑图像,多次等距离移动平面反射镜,采集光斑图片.利用hough变换检测图像中的光斑圆弧,提取光斑圆心像素坐标,采用黑白棋盘格标定法得到物理坐标,根据被测导轨上各测量位置获取的光斑圆心与初始位置光斑圆心的偏移量,由最小二乘法求得被测导轨的直线度误差.将实验结果与三坐标测量机的测量结果对比可知,我们提出的测量方法的测量精度为40μm,具有较高的可行性.

DOI pj0kg8004y/1974227

作者赵军;褚丹丹;许新科;郭天太;孔明

机构地区不详

出处《中国计量大学学报》 2018年4期

关键词单频激光干涉仪直线度图像处理最小二乘法

分类 [机械工程][测试计量技术及仪器]

出版日期 2018年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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