基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
机构地区 不详
出处 《光学与光电技术》 2015年2期
出版日期 2015年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献