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超精密定位载物台

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摘要日本光学计测研究室量子部，近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器，实现了干涉测量的新方法，该方法通过将半导体激励Nd：YAG激光(波长1064nm的红外光)

DOI yzdl66r2dl/302640

作者

机构地区不详

出处《长春光学精密机械学院学报：科技信息版》 1998年2期

关键词超精密定位载物台导体激励YAG激光器干涉测量光学系统折射率

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 1998年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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长春光学精密机械学院学报：科技信息版

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