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2021年4期
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电子工业洁净厂房净化空调系统设计
电子工业洁净厂房净化空调系统设计
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摘要
摘要:近年来,国内大力支持和发展半导体技术,而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展,洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高,而一些生产制造设备在工艺制程中,不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放,在排放废气的同时,为了维持洁净厂房的正压环境,则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气,用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。
DOI
pj0vvw7xdy/5188227
作者
王丽歆
机构地区
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司天津分公司 天津 300061
出处
《建筑实践》
2021年4期
关键词
电子工业
洁净厂房
净化空调
系统设计
分类
[文化科学][]
出版日期
2021年05月10日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
建筑实践
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