首页 > 《当代电力文化》 > 2022年6期 > 突破集成电路测试设备关键技术

突破集成电路测试设备关键技术

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：集成电路测试设备属于芯片生产过程中的质量控制设备，也是全行业正在全力突破的“卡脖子”领域之一。芯片制造过程中的几乎每一道工序都要用到质量控制设备，用来对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性等做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等。毫不夸张地说，质量控制设备水平的高低，直接影响着芯片性能的优劣。

DOI ojn7ol2g4r/6193837

作者方文明陈君

机构地区杭州巨步科技有限公司浙江淳安 311100

出处《当代电力文化》 2022年6期

关键词集成电路测试设备关键技术

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2022年07月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）