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苏州纳迪首创国内超高纯硅溶胶生产技术

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摘要坐落在高新区环保产业园的苏州纳迪微电子有限公司，是一家从事微电子材料及化工品研制开发和规模化生产的高科技企业。近日，公司通过自主创新，研制开发出了一系列科技含量极高的微电子化工材料，其中“电子级超高纯硅溶胶”产品为国内首创，主要用于芯片工艺的Cu-CMP、硅晶圆片的最后一步抛光及高级彩色激光打印纸的表面处理等工序中，受到了市场青睐。

DOI 3j7mgqwgj1/627405

作者

机构地区不详

出处《有机硅氟资讯》 2008年9期

关键词国内首创硅溶胶超高纯生产技术苏州微电子材料

分类 [化学工程][有机化工]

出版日期 2008年09月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）