首页 > 《中国科技人才》 > 2023年1期 > 电子级多晶硅生产技术浅谈

电子级多晶硅生产技术浅谈

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：在工业生产中，对于电子级多晶硅的需求量是非常大的，其质量对电子产品的电路级功能、二极管功能等有着重要的影响。所以，想要保证工业生产中电子产品的质量，就需要确保电子级多晶硅产品的质量。由此，论文先对电子级多晶硅生产工艺做了简要分析，进而深入研究与分析了现阶段电子级多晶硅的生产技术，以供借鉴。

DOI 54k7vl9ydk/6887533

作者董乐

机构地区内蒙古鑫华半导体科技有限公司

出处《中国科技人才》 2023年1期

关键词电子级多晶硅还原炉生产技术精馏分析

分类 [][]

出版日期 2023年03月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）