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数字集成电路的失效分析与技术研究

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摘要摘要：在我国社会高速发展的背景下，人们的生活水平提高，对电力的需求量不断增加，随着社会的不断发展，人们对电力要求不断提高，集成电路应运而生，并在人们的生产和生活中扮演着重要的角色，其集成度也从最初的小规模向中、大规模演进。在集成电路生产中，硅是主要的材料，过去很长一段时间里，以硅为基础生产的集成电路占集成电路总数的90%以上。以硅为生产材料不仅可以提高集成电路的成品率，还可以缩小光刻线宽，而且单晶硅在质量和尺寸上的工艺提升，还促进了集成电路在监控技术、测量技术、制造工艺、设计技术等方面的应用发展。

DOI 54y210o9j0/7528876

作者叶文斌

机构地区广州菲利斯太阳能科技有限公司，广东省广州市510000

出处《中国科技信息》 2023年10期

关键词集成电路技术研究失效分析

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年08月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）