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金属钯复合膜对多晶硅循环氢气纯化工业性试验取得成功
金属钯复合膜对多晶硅循环氢气纯化工业性试验取得成功
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摘要
中科院大连化学物理研究所徐恒泳研究员领导的烃类选择氧化研究组(801组)和大连华海制氢设备有限公司共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置工作取得重要进展,在四川峨眉半导体材料研究所完成了200m3/h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。2月25日,
DOI
lj1v7zm5jv/999920
作者
机构地区
不详
出处
《现代材料动态》
2011年8期
关键词
氢气纯化
钯复合膜
中科院大连化学物理研究所
多晶硅
工业性试验
金属
分类
[一般工业技术][材料科学与工程]
出版日期
2011年08月18日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
现代材料动态
2011年8期
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