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电子封装净化间的静电防护及监控

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摘要随着电子产品集成度越来越高，器件对静电也越来越敏感，容易受静电放电导致损伤或损坏。文章介绍了静电的产生机理，阐述在生产制造过程中静电产生的来源以及危害。介绍了净化间内部抑制静电产生的三大措施：防止静电荷积聚，建立安全的静电泄放通路，以及采取静电监控设备进行静电监控。提出采用镀锡铜排环绕厂房内部的形式来消除静电防护死角，并重点描述了防静电门禁系统和静电在线监控系统的工作原理及功能实现，结合电子封装厂房结构特点，首次提出防静电门禁系统与凤淋门联动控制，有效控制封装厂房的静电来源。

DOI 5joxn89kjv/1220684

作者夏林胜;陈该青;朱春临;程明生

机构地区不详

出处《电子与封装》 2013年3期

关键词静电防护静电监控电子封装净化间

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2013年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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