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2008年Z1期
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哈尔滨实现高纯芯片“防腐剂”国产化
哈尔滨实现高纯芯片“防腐剂”国产化
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摘要
据报道,近日,哈尔滨金烨创业投资中心与南京特种气体有限公司签约,在哈尔滨市建立基地,生产纯度为99.9999%的电子气体,首次实现了硅烷这种能够保证电子芯片、集成电路具有高防腐性的电子气体的国产化。
DOI
9rj8xenrd0/126934
作者
王兵
机构地区
不详
出处
《功能材料信息》
2008年Z1期
关键词
防腐剂
国产化
高纯
电子气体
哈尔滨市
硅烷
分类
[一般工业技术][材料科学与工程]
出版日期
2008年06月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
功能材料信息
2008年Z1期
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