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以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法

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摘要基于内外气体交换的分子流模型，采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法，提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法，给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法，规定了检测判定程序。内部气体质谱分析，需要时辅以粗漏检测，能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测，可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测。

DOI 0dp61qy0j2/1425321

作者王庚林;李飞;李宁博;刘永敏

机构地区不详

出处《中国电子科学研究院学报》 2014年3期

关键词内部气体质谱分析氦气含量法氩气含量法最长候检时间密封性检测

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2014年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国电子科学研究院学报

2014年3期

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