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I/V特性扫描在静电放电试验中的应用

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摘要随着超大规模集成电路工艺的高速发展,特征尺寸越来越小,而静电放电（ElectrostaticDischarge）对器件可靠性的危害变得越来越显著。因此,静电放电测试已经成为对器件可靠性评估的一个重要项目。I/V特性扫描是静电放电试验中必不可少的一环。文章介绍了I/V特性扫描的目的、波形、程序、扫描过程中遇到的问题和应用。

DOI rj8el96rj0/1430110

作者王瑜;卢礼兵;姜汝栋

机构地区不详

出处《电子与封装》 2014年1期

关键词 I V特性扫描静电放电测试

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2014年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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