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一种新型热导式氧气浓度测量方法

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摘要探讨了多种氧气浓度的测量方法,基于微米尺寸悬膜电阻和热传导原理设计了一种新型的热导式氧气浓度测量方法。使用精细微机械加工的悬膜电阻,使得关键元件功耗和成本大为降低。经过仿真模拟和初步实验验证,热导式微型氧气传感器可精确检测较高的氧气浓度。

DOI 0dp68zykj2/1608493

作者钱江蓉;陈丛;许磊;胡国俊

机构地区不详

出处《电子与封装》 2016年3期

关键词氧气浓度微电子机械系统热导

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2016年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电子与封装

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氧气浓度微电子机械系统热导

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