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半导体集成电路生产中的洁净技术

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摘要文章对半导体集成电路生产中可能接触到的主要污染物类型及造成污染的主要原因做了详细介绍.为减少对半导体集成电路的污染,必须保证半导体集成电路的生产在高度洁净的环境中进行.集成电路制造业是一个在超净化环境中,使用超纯材料,进行超微细加工的产业.文章还对各种洁净标准做了详细介绍.随着集成电路生产目前进入深亚微米及纳米级工艺加工阶段,工艺参数以及图形线宽也发生了变化,因此对洁净度等级、工艺中所使用的材料品种和纯度指标的要求还在不断提升.

DOI yzdlegmmjl/196916

作者陈贤

机构地区不详

出处《洗净技术》 2004年7期

关键词集成电路污染超净环境

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2004年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）