自动抛光机的调试与改进

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摘要 摘要在各种研磨工艺参数相同的情况下,抛光机在改造前后的去除率差别不大,但改造后抛光机对工件加工的表面粗糙度明显优于改造前的。研究结果表明该设备的改造设计,可以较低的成本加工出高精密度的产品,极大地满足了生产与科研的需要。本文在对自动半导体抛光机的工作原理进行分析,并提出了一些改进及设思。
作者 袁赛
出处 《基层建设》 2018年1期
出版日期 2018年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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