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《动力学与控制学报》
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2004年1期
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微机电系统多场耦合仿真分析
微机电系统多场耦合仿真分析
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摘要
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向。
DOI
8rdxr609dl/260449
作者
高行山;赵亚溥;吕胜利;邓子辰
机构地区
不详
出处
《动力学与控制学报》
2004年1期
关键词
微电子机械系统
能量场耦合
计算机辅助设计
MEMS
建模
仿真分析
分类
[自动化与计算机技术][控制理论与控制工程]
出版日期
2004年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
动力学与控制学报
2004年1期
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微电子机械系统
能量场耦合
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