微机电系统多场耦合仿真分析

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摘要 在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向。
机构地区 不详
出处 《动力学与控制学报》 2004年1期
出版日期 2004年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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