摘要
摘要所谓CF即Colorfilter面板行业中的彩膜制程。在RGB三道彩膜制程前需要成形规整的黑矩阵格子来承载RGB色条，形成的这个黑矩阵即为BMBlackMatrix。为了确定曝光出来的BM图形与设计所需图形的吻合程度，一个重要的SPC监控特性值是BMTP。TP即TotalPitch线长，即图案实际长度与设计长度的误差容忍值，一般以ppm为单位。目前行业内BMTP会监控8条边，规格要求为±0.8ppm，计算公式为（实际线长-设计线长）/设计线长*1000000，并要求制程稳定度CPK≥1.33。通过分析本文内容可以看出，提升BMTP的CPK除了传统的变更ScanSpeed和机台模板Offset补正外，变更Scanlayout方向，对BMTPCPK的改善也起到很大的作用。鉴于此，本文就BMTPCPK不达标的分析及改善展开探讨，以期为相关工作起到参考作用｡
出版日期
2018年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
