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掩模制造过程缺陷来源研究尤春

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摘要摘要针对集成电路掩模的制作过程中各种缺陷产生的种类及来源进行了基本的系统分析,提出了一些减少或消除这些缺陷的办法和措施。

DOI 7j68n52n40/3301366

作者尤春

机构地区（无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡214035）

出处《电力设备》 2019年7期

关键词集成电路掩模缺陷缺陷控制

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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电力设备

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集成电路掩模缺陷缺陷控制

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