统计过程控制

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摘要 “Streamofvariation(SoV)”methodologyformultistagemachiningprocesses.Amodelreductionmethodformonitoringlarge-scaleprocesses.AsimplewaytodigestSPC.Astatisticalapproachtoimprovewaferfabricationyield.Astatisticalprocesscontrolapproachforestimatingthewarm-upperiod.
作者
机构地区 不详
出版日期 2005年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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