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单晶硅生长技术及氧缺陷控制方法

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摘要摘要目前电子信息技术以及光伏技术飞速发展，而作为此类技术的基础材料，硅发挥了重要作用。从某些角度分析，硅（Si）影响了未来科技的发展，是高薪技术进步的基础，因此国家想要发展自身在能源领域以及高新技术领域实力，必须将Si作为战略资源。作为功能性材料，Si具有各项异性，所以将Si应用于半导体材料需要将其制成硅单晶，并进一步将其加工成为抛光片。这样才能将Si应用于CI器件的制造中，目前所生产的电子元件中89%以上的均使用硅单晶。

DOI ojzv6xoy45/4198646

作者韩永龙高玉顺何旭

机构地区（阳光能源（青海）有限公司青海省810007）

出处《电力设备》 2019年6期

关键词单晶硅生长技术氧缺陷

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）