首页 > 《科学与技术》 > 2020年7期 > 硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用

硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：本研究介绍了在较低的温度条件下，利用等离子体增强化学气相沉积法成功实现在单晶硅衬底上生长高质量石墨烯纳米墙。系统地研究了生长温度、生长时间及射频功率等对硅基石墨烯纳米墙微观结构的影响。利用包括拉曼光谱在内的多项技术表征石墨烯纳米墙的质量及尺寸大小。研究发现随着温度升高、生长时间延长和射频功率增大，石墨烯纳米墙的密度和尺寸也随之增大。通过优化工艺条件，成功制备出高密度、大尺寸、均一的硅基石墨烯纳米墙材料。并且，高质量的石墨烯纳米墙超大比表面积及大量晶界堆叠形成的缺陷大幅提升了湿度传感器的性能。

DOI 54kp6qz3dk/4713033

作者龚会茹

机构地区广西壮族自治区计量检测研究院广西南宁 530007

出处《科学与技术》 2020年7期

关键词石墨烯纳米墙等离子体增强气相沉积（ PECVD）湿度传感器

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年07月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）