硅外延片厚度测量结果的不确定度评定

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摘要 摘要:外延层厚度是外延工艺关键技术参数,其测量结果的真实性对外延生产工艺具有指导意义。外延层厚度通过红外测厚仪进行测量。通过对厚度测试结果进行不确定度的评定,根据评定结果满足生产工艺要求,对外延生产工艺情况判定提供依据。
作者 居斌
出处 《科学与技术》 2022年5期
出版日期 2022年07月10日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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