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硅外延片厚度测量结果的不确定度评定
硅外延片厚度测量结果的不确定度评定
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摘要
摘要:外延层厚度是外延工艺关键技术参数,其测量结果的真实性对外延生产工艺具有指导意义。外延层厚度通过红外测厚仪进行测量。通过对厚度测试结果进行不确定度的评定,根据评定结果满足生产工艺要求,对外延生产工艺情况判定提供依据。
DOI
5jom51ykdv/6114212
作者
居斌
机构地区
中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
出处
《科学与技术》
2022年5期
关键词
外延层厚度,红外,不确定度
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2022年07月10日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科学与技术
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