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电子级多晶硅生产技术分析

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摘要摘要：电子级多晶硅在当今的工业生产中有着举足轻重的地位。因此，电子级多晶硅的生产厂家必须提高产品的品质，提升生产效率。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产的关键技术，及生产质量的影响因素，以供参考。

DOI 0dpgxvr9d2/6264245

作者段旭阳

机构地区 6521011980****1011

出处《科学与技术》 2022年8期

关键词电子级多晶硅生产工艺精馏

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2022年07月29日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）