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多晶硅还原炉产能影响因素分析

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摘要摘要：三氯氢硅的还原工艺是改进西门子工艺多晶硅工艺的重要环节，其生产能力是否能够满足设计要求，这对生产达产、降低生产成本、稳定产品品质起着重要作用。本文对还原炉的影响因素进行了分析，并给出了相应的改进措施，希望能给有关人员带来帮助和参考。

DOI pd59720g47/6939471

作者晋赵泽

机构地区重庆大全泰来电气有限公司重庆万州区400000

出处《中国科技信息》 2023年3期

关键词多晶硅还原炉产能措施

分类 [][]

出版日期 2023年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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