摘要
摘要：随着微电子领域的发展,在微装配工程中,工件尺寸朝着微型化方向发展,加工空间变得更加狭小,使用的胶液的分配也变得更加困难,对流体点胶技术的效率及精度提出了更高的要求。在保证胶滴的体积在pL-fL之间的前提下,进行连续点胶工作中胶液的分配精度是目前点胶技术的难点。因此,研究胶液转移以及铺展情况对点胶技术的发展有着重要意义。在目前常见的点胶方法中,大多数都不能实现超微量胶液的精准分配。针对流体点胶技术存在的难点,本文提出了一种适用于微尺寸加工的点胶方法,使用毛细管储存胶液,加工后的钨丝作为移液针,使用控制系统驱动移液针至指定位置来完成微小胶滴的转移及铺展过程,可实现使用体积在pL-fL范围内的胶液进行精密点胶的需要。
出版日期
2023年05月10日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
