容性耦合Ar/O2等离子体放电特性研究-中国期刊网

摘要摘要：随着半导体工业等领域的不断发展，容性耦合等离子体因其容易产生大面积均匀的等离子体而被广泛应用于等离子体刻蚀和薄膜沉积等方面。与此同时，对射频等离子体源的优化和生产的要求也越来越高，对等离子体的研究也越来越重要。本文采用流体力学仿真模型，研究了容性耦合Ar/O2等离子体的放电特性。介绍了等离子体的数值模拟方法，模型，以及相应的速率系数。利用COMSOL软件对氧等离子体进行了模拟，研究了不同放电参数下氧等离子体的放电特性。

1张风昀;罗垒垒;唐立;王雪鹏. 辉光放电等离子体特性实验研究.物理,2015-05.
2王海云1，武佳2，刘少锋2. 直流辉光等离子体腔体放电特性仿真研究.电力系统及自动化,2022-09.
3朱爱国;许雪艳;朱仁义;程民治. 介质阻挡放电产生等离子体简介.教育学,2008-06.
4吴蓉;冯红艳;朱顺官;张琳;王新. 低输入能条件下半导体桥等离子体放电特性研究.教育学,2011-03.
5陈挺,翁兆祺,薛琛. 等离子体电磁波传播损耗特性研究.市政工程,2023-07.
6王学扬;宋颖;刘东平;晏雯;季龙飞. 介质阻挡放电等离子体对甲基蓝的脱色研究.教育学,2017-05.
7卢杨. 电感耦合等离子体质谱分析.建筑技术科学,2021-10.
8. 高速等离子体淬火.道路与铁道工程,2002-05.
9梁驹;肖丙刚. 人工表面等离子体的电容耦合带通滤波器.测试计量技术及仪器,2017-01.
10郁汉清;李国强. 电感耦合等离子体发射光谱测定水中微量金属.环境卫生学,2000-02.

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