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机械加工中微细尺寸特征的检测与测量方法研究

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摘要摘要：本文研究了机械加工中微细尺寸特征的检测与测量方法。随着微纳技术的发展，对微细尺寸特征的要求越来越高，传统的检测设备和测量方法已经不能满足需求。文章介绍了常用的检测设备如光学显微镜、扫描电子显微镜和原子力显微镜，并探讨了直接测量法、光学投影仪和光干涉仪等测量方法。

DOI 2d38qkv8j9/7891367

作者闫雯

机构地区哈尔滨东安实业发展有限公司黑龙江哈尔滨 150060

出处《中国科技信息》 2023年16期

关键词机械加工微细尺寸特征检测测量

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年12月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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机械加工微细尺寸特征检测测量

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