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光刻胶粘度测试影响因素及粘度值确定方法研究
光刻胶粘度测试影响因素及粘度值确定方法研究
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摘要
摘要:使用RE215L锥板粘度计对光刻胶样品的表观粘度进行了测试,通过分析转动时间,转速及扭矩等因素对光刻胶粘度的影响,验证了转速对粘度,扭矩对粘度之间存在一定的线性关系。并对光刻胶的粘度测试方法进行了探索,验证合适的扭矩对粘度的测量具有重要的意义,可为光刻胶粘度的测定及在基板上方涂布应用提供参考价值。
DOI
54yyknnrm4/8106776
作者
娄季攀
机构地区
(江苏博砚电子科技股份有限公司,江苏 宜兴 214200
出处
《科技新时代》
2024年1期
关键词
光刻胶
粘度
转速
扭矩
影响因素
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2024年03月28日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科技新时代
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