摘要
以便获得两高电镀物品迁居(他们)在高周波的表面的可靠性和罚款维的控制声学的波浪(锯)设备，4-layeredTi/Al-Mo/Ti/Al-Mo电极电影在128°Y-XLiNbO3上被调查由劈啪作响的底层免职。结果显示4-layered电影与常规Al-0.5wt.%Cu电影相比有改进他们可靠性。他们的一生比在5×的当前的密度测试的Al-0.5wt.%Cu电影的长约三倍107A/厘米2和200°C的温度。而且，4-layered电影容易在反应离子蚀刻被蚀刻，罚款维的控制为高周波的锯设备在模式复制期间被认识到。为4-layered电影，最佳瞬间数量和劈啪作响的参数为高他们可靠性是很重要的。
出版日期
2009年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
