简介：摘要：热导技术：采用了固定容积采样腔体及参考腔体双腔体双传感元件一个密封参考通道和一个扩散开放采样通道。同时采用MEMS加工技术生产，气体先进入传感器中的微型采样气腔，然后通过扩散通道进入传感器气室，也就是真正的热导率测量区域，根据被测组份SF6气体固有的物理热导特性和参考气体的热导系数不同即可响应出其浓度。传感原件采用先进的MEMS加工技术生产，使得传感器的体积小，寿命长。
浅谈应用于SF6气体泄漏在线监测装置的SF6传感方式
