简介:摘要:作为主要的飞机结构材料,复合材料与钛合金及铝合金等金属材料的连接是不可避免的,从而组成两层或者多层复合材料/金属叠层混杂结构。为了提高叠层结构装配孔的位置精度,在加工紧固件孔时,通常采用一次性钻削复合材料/金属叠层材料的方法来替代分别钻削复合材料和金属材料的方法。
简介:摘要:晶圆湿法清洗工艺是芯片制造中占比最大的关键工艺,晶圆干燥则是湿法清洗工艺中最后且最为关键的一环。干燥的目的是去除晶圆表面的残留液体,保证晶圆表面最终的洁净度。基于机械设计理论及Marangoni效应,设计研究了一种大尺寸晶圆Marangoni干燥系统,详细介绍了系统的工作原理、工作流程及其结构组成。经过实验验证,该系统能够很好的满足大尺寸及超薄晶圆的干燥要求。