简介:通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究,获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm,深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
简介:
简介:本文扼要阐述了放射性废物处理与处置标准在中放废液大体积浇注水泥固化工程中的应用,针对GB14569.1—93《低、中水平放射性废物固化体性能要求水泥固化体》和GB7023-86《放射性废物固化体长期浸出试验》放射性废物处理与处置标准在中放废液大体积浇注水泥固化工程应用中所存在的问题进行了探讨,并提出了建议。
LIGA技术X光深层光刻工艺研究
在3W1束线上进行X光深层光刻工艺研究
放射性废物处理与处置标准在中放废液大体积浇注水泥固化工程中的应用探讨