简介:摘要:采用电脱氧法将固态Nb2O5在CaCl2-NaCl共晶熔体中还原为金属铌,需要Nb2O5在1123 K和1173 K的共晶熔体中进行直接电化学还原,控制电势以低于盐的分解电势,为3.1 V。分析了由干燥的高纯氩气流动所携带的阳极反应气体,确认了阴极的首选阴极反应是氧电离形成氧离子,氧离子依次溶解在氯化物熔体中,然后在石墨棒阳极放电(氯离子不太可能在阳极上放电)。所制备的金属铌粉中氧含量低至2311ppm的质量,说明电脱氧法适用于在氯化物熔体中还原固体Nb2O5。根据测定的电流-时间行为,分析Nb2O5多孔球团的还原动力学和机理,并对烧结后的Nb2O5球团进行了显微组织分析和不同还原时间下部分还原样品中存在的相进行了分析。
简介:摘要:碳化硅(SiC)作为第三代宽禁带半导体材料,具有良好的热导性、宽带隙、大击穿电场等优良特性,被广泛应用于高温、高频、大功率等电子器件上。但是由于碳化硅具有很高的硬度和化学稳定性,Si-C键合能较大导致湿法刻蚀无法达到要求,因此针对深孔或高台阶刻蚀多采用感应耦合等离子体(ICP)对SiC进行刻蚀,目前研究人员系统研究了ICP刻蚀条件、气体组成等各种工艺条件对SiC刻蚀的影响;其中镍作为刻蚀掩膜层被广泛应用在刻蚀SiC中,因此镍的耐刻蚀性很重要,在一定程度上决定了刻蚀过程中的SiC/Ni的选择比(SiC刻蚀量与Ni刻蚀量的比值),在同等刻蚀条件下,镍消耗少,SiC/Ni的选择比就高,则所需镍层就薄,从而减少了工艺时间,提高了工艺效率。