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  • 简介:文章采用微观电子分析方法,对不同特性干膜及对应的前处理超粗微蚀药水对铜面咬蚀程度进行比较,结合两者的特点作针对性的分析,通过实验验证,从而找到图电工艺产品在前处理使用超粗化时线条边缘点状渗镀的根因,为实际生产中出现线条及大铜面边缘点状渗镀导致的线边不齐提供改善的方向。

  • 标签: 微蚀量 温度 曝光能量 流动性