用于微电子化剂量仪的半导体探测器特性研究

给出了用于微电子化剂量仪的半导体探测器的剂量特性，研究工作表明：该探测器可以和微电子化电路结合，并在常温低偏压（1－3V）下工作，且其灵敏度可在68－316cps/(R/h)之间变化，对微电子化剂量仪中电子线路的设计，奠定了基础。