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微纳尺度电气击穿特性和放电规律研究综述

作者：穆进辉
学科：经济管理 > 产业经济
创建时间：2017-02-12
出处：《红地产》 2017年第2期
机构：随着对客观世界的理解到发展，从宏观到微观，介观，微米，纳米分子尺度，甚至物理结构和电子技术的出现，在民用和军事应用领域越来越广泛。然而，随着物理尺寸的减少，集成水平的逐渐提高，微纳米尺度的物理结构和电子器件面临更严酷的工作环境。。

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