简介：摘要：本文研究了加热器对分子束外延装置生长薄膜的影响与优化方法。探讨了加热器参数对薄膜生长过程中的温度分布、薄膜质量和结晶性能的影响。在此基础上，提出了一些优化加热器参数的策略，以改善薄膜的生长质量和性能。
加热器对分子束外延装置生长薄膜的影响与优化研究
