简介:一个特殊热建模工具,CrysVUn,被综合系统和设备技术的Fraunhofer研究所的水晶生长实验室(CGL)在德国的Erlangen开发,被用于生长的数字分析接口状况。热交通,氩流动并且融化传送对流被考虑了。Cauchy动议的第一和第二条法律是管理为应力的部分方程计算。测量结果和模拟结果被比较,接口形状和在300公里Czochralski(CZ)硅水晶期间,有不同生长的生长评估的热压力分发被预言。
Comparison of measurements and simulation results in 300 mm CZ silicon crystal growth