简介:摘要: 随着我国机械行业的迅猛发展,液压传动技术也随之不断发展,而液压传动技术中的油路的联接技术也是液压传动技术中的重要一环,尤其是对于中高压油路软管的联接技术在液压传动技术中的应用十分广泛,比如:汽车行业中的润滑、机床液压传动等都要应用到中高压油路软管联接。现有的常用的中高压油路软管联接结构,主要包括树脂软管、扣压螺纹套、扣压芯、空心螺母、双锥卡套和联接本体,其联接方式是,用专用工具把扣压螺纹套拧到树脂软管的外圆上,再把扣压芯拧到扣压螺纹套的内螺纹和树脂软管内孔里,使三者连成一整体,再在扣压芯上套上空心螺母和双锥卡套,使空心螺母的外螺纹与联接本体的内螺纹联接。可见,该联接结构存以下缺陷和不足,首先是由于其采用扣压芯拧到树脂软管内孔并用扣压螺纹套进行扣压拧紧,和扣压芯与联接本体对接并用双锥卡套和空心螺母扣压旋紧的二度联接方式,因此,其联接用的零部件多,联接步骤多,费时费力,工作效率低,操作麻烦;其次是该种联接结构的联接处只能保证常规使用压力为13MPa;最高耐压为20Mpa。
简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。