简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:摘要:化工生产技术的发展在化工生产中一直处于发展阶段。由于大多数化工生产过程不可避免地会对周围环境造成一定程度的破坏,在低碳环保、节能减排理念的驱动下,越来越多的技术人员开始致力于绿色化工过程的研究。为了响应国家可持续发展的号召,采用有效的生产技术来尽可能避免或杜绝化工生产对环境的破坏是非常必要和重要的。在化工生产过程的操作过程中,最重要的一步是工艺设计。化工工艺设计直接关系到化工生产过程的完整性和艺术性,意义重大。因此,在化工流程设计的过程中,要重点考虑如何优化化工生产模式,同时要处理好化工生产过程中的安全问题,最佳的预防和处理措施是化工生产过程领域的重中之重。只有确保化工生产过程中的安全问题,才能不断促进这一领域的良性发展。