简介:给出了单位圆盘上不同加权B日舯锄空间之间的加权复合算子有界性及紧性刻划.
简介:利用上极限,给出了单位球上加权Bergman空间的加权复合算子的本性模的表示.
简介:设函数φ和Ф是复平面单位圆盘D上的解析函数且φ(D)■D,则将加权复合算子定义为Wφ,Ф:f→Фf°φ.当1
简介:刻画加权Bergman空间Aα^2(Ω)上的加权复合算子Cφ,Ф的Schatten-p类.
简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。