简介：过去多年以来，在减少氟化物的排放方面，半导体业行业一直处于领先地位。在气相沉积反应器清洗上，人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法，但是，由于这些原料供应短缺，或者需要用高压钢瓶运输，或者有造成显著的温室效应的可能，所以这些方法都不是很理想。
简介：面对含氟气体的使用失控及其造成的温室气体排放猛增，欧洲议会日前通过一项法律草案，要求在整个欧盟范嗣内逐步叫停使用含氟气体，力争在2030年将这类产品在欧盟的使用减少80％。
简介：摘要总结了硫酰氟气体中毒的急救护理体会。主要急救护理措施包括吸氧，高压氧治疗，解除支气管痉挛，防止炎性渗出，消炎等。
简介：目的：分析急性有机氟中毒患者呼吸系统损害的特点。方法：回顾性分析我院2011年集中收治的22例急性有机氟中毒患者的临床资料，着重分析患者的呼吸系统症状、肺部体征、影像学表现、肺功能的影响。结果：有机氟气体中毒呼吸系统损害主要表现为胸闷、气喘、咳嗽、呼吸困难，影像学特征为两肺渗出性病变、急性肺水肿，可并发纵N／皮下气肿，后期可以出现肺纤维化且为可逆，对肺功能、劳动能力的影响轻微。结论：有机氟气体所致的肺损伤具有“隐匿性、爆发性、致死性”的特点，临床工作中要保持高度警惕，有条件尽可能行CT检查，并至少要留观72h，做到早诊断、早治疗，一般预后良好。
氟气—清洗化学气相沉积
欧洲议会立法逐步叫停使用含氟气体
8例硫酰氟气体中毒的急救护理
急性有机氟气体中毒患者呼吸系统损害的特点分析
