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  • 简介:设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。陀螺基于玻璃--玻璃键合的三明治结构、环形转子、体工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。

  • 标签: 硅微陀螺 静电悬浮 体硅工艺 电容式位移检测 可变电容式电机
  • 作者: 王新
  • 学科:
  • 创建时间:2023-10-27
  • 机构:青禾晶元(天津)半导体材料有限公司  天津  300301
  • 简介:摘要: “非常精密加工”作为一种极其精密的加工技术逐渐显现出来,这种加工的方法结合了极其精确的硅片切割,磨削和磨削加工,分析了硅片精密加工的研究现状,并探讨了硅片的发展趋势。预测晶片的加工与未来的研究工作。

  • 标签: 半导体 硅晶片 超精密加工 磨削 抛光
  • 简介:摘要:精密加工作为一种非常精密的加工技术正在逐渐兴起。这种加工方法结合了高精度硅片的切割、磨削。对硅片精密加工的研究现状进行分析和讨论,预测晶圆工艺和未来的研究工作。

  • 标签: 半导体 硅片 超精密加工
  • 简介:摘要:随着化学在化工、医学和材料科学中的广泛运用,对其分析精度和灵敏性的需求也在不断提高,传统的分析方法在处理复杂样品和追求高精度方面面临挑战,促使了分子级分析技术的崛起。本文通过探讨传统分析方法的局限性,强调分析技术的创新对克服挑战的重要性,综述分子级化学分析技术的发展。这些技术有望在可持续发展、医疗个性化和新材料设计等方面产生深远影响,为化学应用领域带来新的可能性。

  • 标签: 分子级 化学分析 硅分析 分析技术 发展前景
  • 简介:文章慨述了步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成.线圈由手工在显微镑下绕制完成,转子直径2mm.整个电机直径5mm。

  • 标签: LIGA 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 研制 光刻
  • 简介:[摘要]富水软弱围岩隧道喷射混凝土与围岩之间的粘结力不足,易造成喷射混凝土被水冲刷掉或大面积坍塌,喷射混凝土脱落,回弹率大、喷浆时间长等问题。通过在喷射混凝土中掺入一定比例细改性灰,可以提高喷射混凝土的粘聚性,降低喷射混凝土回弹率,节约施工成本。

  • 标签: []隧道 富水软弱围岩 喷射混凝土 超细改性硅灰 回弹率
  • 简介:摘要粉也叫灰或称凝聚灰,也有人叫粉,是铁或金属生产过程中由矿热炉中的高纯石英、焦炭和木屑还原产生的副产品,主要成分是SiO2,一般粉的颜色在浅灰和深灰之间,SiO2本身是无色的,其颜色主要取决于碳和氧化铁的含量,碳含量越高,颜色越暗,另外加密的粉要比自然粉颜色暗。粉的粒径都小于1um,平均粒径为0.1um左右,是水泥颗粒直径的1/100,所以粉能高度分散于混凝土中,填充在水泥颗粒之间而提高密实度,同时粉具有很高的活性,能更快更全面的与水泥水化产生的氧氢化合物反应。

  • 标签: 微硅粉 混凝土施工 应用
  • 简介:用小角X射线散射(SAXS),Raman谱,红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法(HWCVD)制备氢化膜微结构,结果表明的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和SAXS的结果讨论了不同相结合下网络中H的键合状态。认为在非晶膜中H以SiH键为主,在膜中H以SiH2为主且主要存在于晶粒的界面。

  • 标签: 微晶硅薄膜 小角X射线散射 半导体 红叶光谱 结构
  • 简介:摘要:粉具有较强的活性,将其应用于混凝土材料之中,一方面可以显著提升混凝土的紧密度,另一方面还可以有效提升混凝土的耐久性和强度。因此本文结合实际案例分析粉在混凝土工程中的应用情况,期望对同行有所借鉴和参考。

  • 标签: 微硅粉 混凝土 应用
  • 简介:摘要:有机球是一种新型的功能性材料,在生物医学、能源和环境等领域有广泛的应用前景。本文综述了有机球的合成方法和性能研究,并探讨了其在不同领域的应用,水解缩聚法、溶胶-凝胶法和界面聚合法是目前常用的合成方法。有机球在生物医学领域应用前景广阔。在能源和环境领域,有机球也有着潜在的应用,例如催化剂、吸附剂和传感器等方面。本文的研究结果对于有机球的进一步应用和开发具有指导意义。

  • 标签: 有机硅微球 合成方法 性能研究 应用研究
  • 简介:根据二阶质量-弹簧-阻尼系统的幅频特性和相频特性关于谐振频率对称的特点,提出了一种低频振荡激励的实时模态匹配技术,根据检测模态的输出响应来判别驱动模态和检测模态的匹配程度。首先简要介绍了带频率调谐功能的双质量线振动陀螺仪,该陀螺利用负刚度效应来调节检测模态的谐振频率;然后通过理论推导以及系统仿真验证了基于低频调制激励的自动模态匹配技术的可行性和有效性;最后设计了一种基于现场可编程逻辑阵列(FPGA)的数字控制电路,并且对同一测试陀螺进行了模态匹配和模态不匹配下的性能对比。试验结果表明,相比模态不匹配条件下,陀螺零偏稳定性从5.89(°)/h提高到1.26(°)/h,角度随机游走从0.36(°)/√h提高到0.079(°)/√h,性能分别提高了4.7倍和4.6倍。

  • 标签: 负刚度效应 硅微陀螺仪 低频振荡调制 模态匹配 自动频率调节
  • 简介:摘要:三氯氢是制备多元化合物的重要原料,其纯度直接影响最终产品性能。目前,提纯三氯氢的常用方法存在能耗高、产能低等问题。为此,引入树脂除碳技术对三氯氢进行提纯成为关键研究课题。通过使用含氨基酸基团的离子交换树脂,以树脂吸附的方式从三氯氢溶液中吸附出碳含量,经过实验发现,树脂除碳技术能有效去除三氯氢中的碳杂质,提纯率高达95%以上,与常规方法相比,其能耗降低了30%,产能也提高了20%。该研究得出的成果表明,树脂除碳技术在三氯氢的提纯工艺中具有很大的应用潜力,对于提高三氯氢的生产效率、降低生产成本等方面有重要的技术价值,对推动三氯氢相关产业的发展和提高产品质量具有显著意义。

  • 标签: 树脂除碳技术 三氯氢硅 提纯工艺 离子交换树脂 产能提高。
  • 简介:利用非线性偏振旋转锁模掺铒光纤激光器和1100m长的掺锗基高非线性光纤制作了连续光源,获得了从1150~1750nm的超宽带输出光谱,其中1150~1350nm波段光谱起伏小于3dB,1600~1700nm波段平坦度优于1dB,并有很好的向长波延展空间。光谱展宽的机理为孤子分裂与受激拉曼散射,而四波混频使光谱进一步展宽。

  • 标签: 超连续光谱 高非线性光纤 掺铒光纤锁模激光器 孤子分裂 非线性偏振旋转
  • 简介:据悉,由南开大学、天津津能公司等共同投资建设的新型光伏电池——非晶叠层电池生产线,目前在天津高新区建成投入生产。并将产品远销海外市场,受到用户欢迎。

  • 标签: 叠层电池 生产线 微晶硅 非晶硅 投产 南开大学
  • 简介:0前言WC(碳化钨)平均晶粒直径1.0μm以下的晶粒硬合金,被广泛应用于整体立铣刀及钻头等切削工具、电子零件加工用工具等.为预测该系合金工具的寿命,掌握其疲劳特性是至关重要的问题.以往,笔者曾对材料中主要为中等晶粒直径(约1.6μm)的WC-12%Co硬合金进行了点弯曲疲劳试验,就HIP处理工艺及表面磨削状态,涂覆处理过程对工具性能影响等问题做了研究报道.而本文采用的晶粒硬合金中,添加了Cr3C2作为晶粒生长抑制剂,研究该合金的3点弯曲疲劳特性,实现提高工具寿命之目的.

  • 标签: 合金弯曲 弯曲疲劳 晶粒超
  • 简介:梳理五大化学教学期刊中关于的常见课程资源,发现教师对""的制备认识不够、资源匮乏。尝试从单质的制备入手,从大学教材中的Ellingham图和文献中的机理分析拓展其学科资源,并从科技前沿报道中挖掘制备""的情境资源。

  • 标签: Ellingham图 热力学 "硅"制备 科技前沿 课程资源