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  • 简介:介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。

  • 标签: Ci·SiO薄膜电阻器 混合集成电路 溅射 TCR