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标准镜调整和面形误差对干涉测量的影响

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摘要采用Zemax光学设计软件进行干涉模拟,建立传统菲索干涉仪结构;对标准镜调整和面形误差对测量结果的影响做出模拟分析,得出对标准镜引入倾斜将会带来像差;分析了标准镜前后表面面形误差对测量结果的影响。

DOI rdx55k89jl/1740649

作者曹晓君;郑建洲;王丽梅;曲艳玲;武松林

机构地区不详

出处《大连民族大学学报》 2017年3期

关键词菲索干涉仪标准镜波像差

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2017年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

大连民族大学学报

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