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《电力电子》
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中国半导体设备业的近况
中国半导体设备业的近况
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摘要
随着半导体设备市场的快速发展、我国从事半导体设备开发和生产的企业正在迅速增加,2003年从2002年的40个发展为接近60个(包括兼作),其中主要单位20家左右。大部分单位从事序和后工序设备研制,材料制备设备、净化设备、半导体专用工模具、检测设备、试验设备和半导体设备零部件也各有一些单位在研究和生产。一些企业已开始在中国设厂,为行业的发展注入了活力。
DOI
lg4qwpq748/255348
作者
机构地区
不详
出处
《电力电子》
2004年5期
关键词
半导体设备业
集成电路产业
市场销售额
中国
分类
[电子电信][电路与系统]
出版日期
2004年05月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
电力电子
2004年5期
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