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硅外延片表面“绿雾”缺陷研究及解决方案

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摘要摘要本文研究表面“绿雾”缺陷外延片的成因，发现“绿雾”片与正常片对比金属杂质含量无差异，粗糙度方面“绿雾”片要更大一些。通过外延工艺试验发现衬底与外延界面不同是造成“绿雾”的原因，“绿雾”缺陷可通过衬底RAC清洗，或外延前氢气高温加热来对界面进行处理，进而消除。最终通过杜绝“绿雾”片产生，提高了外延成品率，降低了成本。

DOI ojz5gylzj5/3104670

作者庞伟龙李杨

机构地区（中国电子科技集团公司第四十六研究所天津市300220）

出处《电力设备》 2017年19期

关键词成本 &ldquo 绿雾&rdquo 金属杂质含量粗糙度界面

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2017年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）