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半导体设备预测性维修技术研究

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摘要摘要预测性维修属于维修领域长期探究的关键问题，本文从常规预测维修要点着手，分析对比了修复性检修、防范维修与预测性检修的优点及缺点，并详细介绍了半导体设施预测性维修方法。

DOI 34grzv2wd9/3638755

作者邓涛

机构地区杭州士兰集昕微电子有限公司浙江杭州310018

出处《科技新时代》 2019年5期

关键词半导体设施预测性检修方法分析

分类 [医药卫生][]

出版日期 2019年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

科技新时代

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